| Ba0.6 Sr0.4 TiO3溅射靶材的烧制和性能分析 |
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| 引用本文： | 张龙,朱健,卓敏. Ba0.6 Sr0.4 TiO3溅射靶材的烧制和性能分析[J]. 功能材料与器件学报, 2008, 14(2): 358-361 |
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| 作者姓名： | 张龙 朱健 卓敏 |
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| 作者单位： | 南京电子器件研究所,南京,210016;南京电子器件研究所,南京,210016;单片集成电路与模块国家级重点实验室南京,210016 |
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| 摘 要： | 介绍了BST压电陶瓷靶的烧制方法,使用添加剂改善了Ba0.6 Sr0.4 TiO3 靶材的结构和性能,解决了BST靶材热稳定性差的问题,同时优化了BST靶材的晶化效果,提高介电性能.实验通过XRD衍射和P-E试验分析了所制BST溅射靶的微结构和铁电特性.
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| 关 键 词： | BST 压电陶瓷 热稳定性 XRD衍射 P-E试验分析 |
| 文章编号： | 1007-4252(2008)02-0358-04 |
| 修稿时间： | 2007-05-12 |
Fire process and performance analysis of High-intensity Bao0.6 Sr0.4 TiO3 target |
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| ZHANG Long,ZHU Jian,ZHUO min. Fire process and performance analysis of High-intensity Bao0.6 Sr0.4 TiO3 target[J]. Journal of Functional Materials and Devices, 2008, 14(2): 358-361 |
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| Authors: | ZHANG Long ZHU Jian ZHUO min |
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