|
|||||
|
|
| 微结构气敏传感器敏感薄膜制备方法的研究 | |
| 引用本文： | 李建平,王悦.微结构气敏传感器敏感薄膜制备方法的研究[J].真空科学与技术,2000,20(3):161-165. |
| 作者姓名： | 李建平 王悦 |
| 摘 要： | 随着微结构气敏传感器的出现，金属氧化物半导体薄膜因具有灵敏度高、热质量小、批量制备一致性好等特点受到日益广泛的重视，本比较了在微结构气敏传感器中三种方法制备的ＳｎＯ２敏感薄膜的结构和气敏响应特性。结果表明，用液涎生长和热氧化技术制备Ｓｎ２薄膜虽然能采用Ｌｉｆｔ－ｏｆｆ技术成形，但由于膜中晶粒结构和Ｓｎ／Ｏ比不合适使得它的气敏响应特性很差；室温混合气氛（Ａｒ／Ｏ２比为８：２）下射频溅射ＳｎＯ２靶然 |
| 关 键 词： | 微结构 气敏传感器 二氧化锡薄膜 气敏特性 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |