| 滚珠丝杠螺距误差前馈补偿法提高X-Y工作台定位精度的研究 |
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| 引用本文： | 袭著燕,路长厚,郭涛,张建川.滚珠丝杠螺距误差前馈补偿法提高X-Y工作台定位精度的研究[J].机械科学与技术(西安),2004,23(7):805-808. |
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| 作者姓名： | 袭著燕 路长厚 郭涛 张建川 |
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| 作者单位： | 山东大学机械工程学院 济南250061
(袭著燕，路长厚，郭涛)，山东大学机械工程学院 济南250061(张建川) |
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| 基金项目： | 教育部科学技术研究重点项目 (10 4111)资助 |
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| 摘 要： | 在详细论述了激光多普勒测量仪的原理及测量方法后 ,对滚珠丝杠螺距误差的情况进行了分析 ,通过软硬结合的方法对重复定位误差和螺距误差的补偿进行了研究 ,并且通过实验验证了方法的有效性
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| 关 键 词： | X-Y工作台 激光多普勒测量仪 螺距误差 定位精度 |
| 文章编号： | 1003-8728(2004)07-0805-04 |
Research on the Method of Lead-Screw Error Compensation for Improving X-Y Table Position Accuracy |
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| XI Zhu yan,LU Chang hou,GUO Tao,ZHANG Jian chuan.Research on the Method of Lead-Screw Error Compensation for Improving X-Y Table Position Accuracy[J].Mechanical Science and Technology,2004,23(7):805-808. |
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| Authors: | XI Zhu yan LU Chang hou GUO Tao ZHANG Jian chuan |
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| Abstract: | On the basis of the discussion of the principle and measurement method of LDDM, this paper analyses the sources of the lead screw error. Compensation of repetitive position error and lead screw error is investigated by the software and hardware method, and the experiment verifies the effectiveness of the method. |
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| Keywords: | X-Y Table LDDM(Laser Doppler Displacement Measurement) Lead-screw error Position accuracy |
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