摘 要: | 在传统硫酸沉积铜中甲烷磺酸是一种可选择的电解液。从环境友好的乙酸基电解液中电沉积铜,该电解液由乙酸铜、乙酸钠、甲烷磺酸组成。采用维生素、糖精和4-氨基-3-羟基-1-磺酸作为沉积电解液的添加剂,利用法拉第定律计算阴极电流效率,并使用Haring-Blum电池确定溶液中的金属分布比。这些添加剂影响了沉积铜薄膜的表面形貌,采用SEM和XRD手段分析其晶粒尺寸。XRD谱表明电沉积铜是多晶面心立方体结构。采用Debye-Scherrer公式计算薄膜的晶粒大小。晶体尺寸表明含电解液添加剂沉积得到的产物具有最小的晶粒尺寸。织构系数分析表明,所有的铜沉积膜都是多晶结构,晶体择优取向并平行于表面。添加剂导致了均匀的无针孔表面形貌和晶粒细化。
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