| 微米级形貌修饰的硅材料表面摩擦特性的实验研究 |
| |
| 引用本文： | 董云开,张向军,刘莹,温诗铸. 微米级形貌修饰的硅材料表面摩擦特性的实验研究[J]. 润滑与密封, 2008, 33(1): 1-4 |
| |
| 作者姓名： | 董云开 张向军 刘莹 温诗铸 |
| |
| 作者单位： | 清华大学摩擦学国家重点实验室,北京,100084;南昌大学,江西南昌,330029 |
| |
| 摘 要： | 微机电系统(MEMS)可动部件间的摩擦特性是影响其性能和可靠性的重要因素之一.为了研究微机械构件间的摩擦行为,设计了一种面-面接触的应变式微摩擦测试仪,以模拟MEMS器件的真实工况.研究了不同微米级条纹形貌硅试样的摩擦特性,结果表明,微尺度下速度对摩擦因数有很大影响;形貌参数存在优选值以有效减少速度的影响和摩擦因数等.
|
| 关 键 词： | 摩擦力 表面形貌 滑动速度 |
| 文章编号： | 0254-0150(2008)1-001-4 |
| 修稿时间： | 2007-09-27 |
Experimental Study of Tribological Performance on Silicon Micro-textured Surface |
| |
| Dong Yunkai,Zhang Xiangjun,Liu Ying,Wen Shizhu. Experimental Study of Tribological Performance on Silicon Micro-textured Surface[J]. Lubrication Engineering, 2008, 33(1): 1-4 |
| |
| Authors: | Dong Yunkai Zhang Xiangjun Liu Ying Wen Shizhu |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
