| SiO膜作为光控晶闸管减反射膜的研究 |
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| 引用本文： | 赵善麒 高鼎三 等. SiO膜作为光控晶闸管减反射膜的研究[J]. 半导体光电, 1990, 11(1): 67-70,60 |
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| 作者姓名： | 赵善麒 高鼎三 等 |
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| 作者单位： | [1]吉林大学电子科学系 [2]沈阳工业大学电子系 |
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| 摘 要： | 为了提高光控晶闸管的触发灵敏度,我们在器件的受光区表面蒸镀上一层SiO减反射膜,本文在理论上指出了SiO作为减反射膜所必须满足的条件,并在实验上对SiO膜的减反射效果进行了验证,结果表明:SiO膜的存在可使透射率由无膜时的0.68提高到0.94-1,光触发功率比无膜时减少了20-40%.
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| 关 键 词： | 光控晶闸管 光触发灵敏度 减反射膜 反射率 透射率 氧化硅 |
A Study of a SiO Thin Film for an Antireflecting Film of a Light Triggered Thyristor |
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| Zhao Shanqi,Gao Dingsan,Pan Fuquan Dep. of Electronics Science,Jilin University Dep. of Electronic Engineering,Shenyang Polytechnic University. A Study of a SiO Thin Film for an Antireflecting Film of a Light Triggered Thyristor[J]. Semiconductor Optoelectronics, 1990, 11(1): 67-70,60 |
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| Authors: | Zhao Shanqi Gao Dingsan Pan Fuquan Dep. of Electronics Science Jilin University Dep. of Electronic Engineering Shenyang Polytechnic University |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Light Triggered Thyristor Light Triggering Sensitivity Antireflecting Film Reflectivity Transmissivity |
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