| 双频激光合成波长干涉仪的精确定位方法研究 |
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| 引用本文： | 陈本永,周砚江,孙政荣,吴晓维,李达成.双频激光合成波长干涉仪的精确定位方法研究[J].仪器仪表学报,2003,24(Z1):53-55. |
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| 作者姓名： | 陈本永 周砚江 孙政荣 吴晓维 李达成 |
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| 作者单位： | 1. 浙江工程学院测控技术及仪器系,杭州,310033
2. 清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 属国家自然科学基金资助项目(50275138)研究内容. |
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| 摘 要： | 本文构筑了一种在同一干涉仪中可同时实现大范围和高精度纳米测量的双频激光合成波长干涉仪;针对该干涉仪的光路结构特点,提出一种新的粗精定位相结合的干涉信号同相位检测方法,实现了对不同频率干涉信号的同相位检测;实验测量结果表明该定位方法能够实现0.41nm的定位精度.
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| 关 键 词： | 纳米测量 双频激光 合成波长 相位检测 |
Precision Positioning Method for a Dual-frequency Synthetic-wavelength Laser Interferometer |
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