| 沉积参数对ZnS体材料红外透过率的影响 |
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| 引用本文： | 憨勇,刘正堂.沉积参数对ZnS体材料红外透过率的影响[J].西北工业大学学报,1996,14(3):335-338. |
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| 作者姓名： | 憨勇 刘正堂 |
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| 作者单位： | 西安交通大学 |
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| 摘 要： | 采用低压化学气相沉积法系统研究了Ｈ２Ｓ／Ｚｎ流量比、沉积温度、沉积速率及衬底材料对ＺｎＳ体材料红外透过率的影响规律，在本实验研究的条件下认为采用低的Ｈ２Ｓ／Ｚｎ流量比及低的沉积速率，适宜的沉积温度可以提高ＺｎＳ的透过率。同时高沉积温度及高Ｈ２Ｓ／Ｚｎ流量比可减少ＺｎＳ对波长６．２μｍ光的吸收。在优化的工艺下获得了高红外透过率的ＺｎＳ体材料。
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| 关 键 词： | 化学气相沉积，体材料，ZnS，透过率 |
On Improving Infrared Transmittance of CVD-ZnS |
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| Han Yong.On Improving Infrared Transmittance of CVD-ZnS[J].Journal of Northwestern Polytechnical University,1996,14(3):335-338. |
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| Authors: | Han Yong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | CVD (chemical vapor deposition) bulk material ZnS transmittance |
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