| TX1 800磁控溅射镀膜机冷却系统的改进 |
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| 引用本文： | 关亚兰,崔秀清,刁训刚,王涛.TX1 800磁控溅射镀膜机冷却系统的改进[J].真空与低温,2012,18(3):142-145. |
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| 作者姓名： | 关亚兰 崔秀清 刁训刚 王涛 |
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| 作者单位： | 1. 北京航空航天大学物理科学与核能工程学院,北京,100083
2. 中国运载火箭技术研究院五一九厂,山西长治,046012 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重点资助项目，中国工程物理研究院双百人才基金 |
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| 摘 要： | 以北京天瑞星公司生产的大型TX1 800商用磁控溅射镀膜机为例,分析了磁控溅射镀膜机靶的结构及配套冷却系统,引入航空航天领域应用较多的层板发汗冷却。在高温下气化蒸发带走基材热量,达到材料降温的目的。通过层板间的特殊结构实现对流体流量、流速等的控制,实现预想的冷却效果。
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| 关 键 词： | 靶 层板 发汗冷却 |
IMPROVEMENT IN COOLING SYSTEM OF TX1800 MAGNETRON FILM PLATING MACHINE |
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| GUAN Ya-lan
,
CUI Xiu-qing
,
DIAO Xun-gang
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WANG Tao.IMPROVEMENT IN COOLING SYSTEM OF TX1800 MAGNETRON FILM PLATING MACHINE[J].Vacuum and Cryogenics,2012,18(3):142-145. |
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| Authors: | GUAN Ya-lan CUI Xiu-qing DIAO Xun-gang WANG Tao |
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| Affiliation: | 1.School of Physical Science and Nuclear Engieering,Beihang University,Beijing 100083,China; 2.519 Machinery Factory,China Academy of Vehicle Technology,Changzhi 046012,China) |
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| Abstract: | |
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