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SIMS中多电荷离子质谱的若干研究
引用本文:
王理.SIMS中多电荷离子质谱的若干研究[J].分析仪器,1987(1).
作者姓名:
王理
作者单位:
中国科学院科学仪器厂
摘 要:
二次离子质谱(SIMS)作为质谱学领域中的一个分支已经越来越占有重要的地位,国外不少学者在溅射机理、仪器及其分析方法等进行了大量研究工作,不断有SIMS的专著问世。过去虽然我们也研制过SIMS仪器,但除了对此种仪器较之电子探针、俄歇谱仪具有极高的检测灵敏度这一
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