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MT300干涉光刻步进机
摘 要:
MT300干涉光刻步进机Interserv公司和新墨西哥大学联合开发的干涉光刻技术采用i线光学系统,成为018μm特征尺寸制作的有价值的生产替代技术。刻技术瞄准300mm圆片图形制作,并可用于平板显示器生产,可以克服传统的光学光刻技术的焦深和分辨率...
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