| 微电子机械系统中微尺度热物性研究进展 |
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| 引用本文： | 余隽,唐祯安,魏广芬.微电子机械系统中微尺度热物性研究进展[J].机械强度,2001,23(4):465-470. |
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| 作者姓名： | 余隽 唐祯安 魏广芬 |
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| 作者单位： | 大连理工大学电子工程系, |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重大项目 (59995550 5)，教育部骨干师资计划 (2 0 0 0 65)的资助 |
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| 摘 要： | 微电子机械系统（MEMS）是结合微电子技术和微机械加工技术制造而成的微型机电一体化系统。MEMS中薄膜材料的厚度可达到微米、亚微米直到纳米量级。由于微尺度效应，薄膜材料的导热规律及其各种热物性参数（如比热、热导率、热扩散率等）与常规材料显著不同。设计MEMS时必须充分考虑微尺度效应，并使用合理的热物性参数值，才能保证微电子机械系统的热稳定性。本文从理论建模、实验测试和计算机模拟三个方面总结了近年来微尺度薄膜热物性的研究进展。
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| 关 键 词： | 微尺度 薄膜 热物性参数 微电子机械系统 |
| 修稿时间： | 2001年5月12日 |
PROGRESS OF STUDY ON MICROSCALE THERMAL PROPERTIES OF MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS |
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| YU Jun,TANG Zhenan,WEI Guangfen.PROGRESS OF STUDY ON MICROSCALE THERMAL PROPERTIES OF MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS[J].Journal of Mechanical Strength,2001,23(4):465-470. |
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| Authors: | YU Jun TANG Zhenan WEI Guangfen |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Microscale Thin films Thermal properties Micro electro mechanical system |
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