| 电化学制备亚微米氧化铝有序多孔膜方法研究 |
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| 引用本文： | 韩喻,谢凯. 电化学制备亚微米氧化铝有序多孔膜方法研究[J]. 微纳电子技术, 2003, 0(Z1) |
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| 作者姓名： | 韩喻 谢凯 |
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| 作者单位： | 国防科技大学光子声子晶体研究中心 湖南长沙410073(韩喻)，国防科技大学光子声子晶体研究中心 湖南长沙410073(谢凯) |
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| 摘 要： | 采用电化学阳极氧化法制备亚微米氧化铝有序多孔膜 ,研究了铝电极预处理过程、扩孔时间、阳极氧化时间和阳极氧化电压对亚微米氧化铝有序多孔膜孔径、孔密度以及孔排列有序性的影响规律 ,并且建立了一个理想模型来探讨亚微米氧化铝多孔膜的生长过程
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| 关 键 词： | 电化学 阳极氧化 有序多孔氧化铝膜 |
Electrochemically prepared submicron ordered porous alumina film |
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| HAN Yu,XIE Kai. Electrochemically prepared submicron ordered porous alumina film[J]. Micronanoelectronic Technology, 2003, 0(Z1) |
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| Authors: | HAN Yu XIE Kai |
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| Abstract: | Submicron ordered porous alumina film is prepared with the electrochemically anodization method. The observations show that the diameter of the pores, the density of the pore arrays and the tendency to form regular pore structures strongly depend on the pretreatment of the aluminum substrate, the anodized time and the anodized voltage. The influences of these conditions are investigated. And we built a simple model to discuss the growing process of the film. |
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| Keywords: | electrochemistry anodize ordered porous alumina |
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