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| 微细电火花加工工艺研究 | |
| 引用本文： | 李勇,邹丽芸.微细电火花加工工艺研究[J].电加工,1998(4):4-7. |
| 作者姓名： | 李勇 邹丽芸 |
| 作者单位： | [1]清华大学 [2]北京机电研究院 |
| 摘 要： | 介绍了在研制的采用蠕动式微进给和线放电磨削走丝机构的微细电火花加工装置上进行的加工工艺实验研究，探讨了微细电火花加工微小轴（工具电极）高深宽比微小孔，非圆截面形状和三维结构成形以及半导体硅材料等的工艺方法。 |
| 关 键 词： | 微细加工 电火花加工 微小工具电极 高深宽比 |
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