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Fe-Ga薄膜的微结构与磁性能研究
引用本文:王天乐,冯尚申,李艳萍,李志刚,邵先亦,蔡培阳. Fe-Ga薄膜的微结构与磁性能研究[J]. 稀有金属材料与工程, 2017, 46(2): 406-410
作者姓名:王天乐  冯尚申  李艳萍  李志刚  邵先亦  蔡培阳
作者单位:浙江理工大学;台州学院,台州学院,浙江理工大学;台州学院,台州学院,台州学院,台州学院
摘    要:采用磁控溅射方法,以Si(1OO)为衬底在40~80 W功率下制备了Fe_(83)Ga_(17)薄膜,通过XRD、SEM、室温磁滞回线以及MFM的测量研究了不同溅射功率制备的Fe-Ga薄膜的结构、形貌、磁性能和磁畴。XRD结果表明室温下薄膜样品是bcc(11O)晶体结构。SEM观察结果表明薄膜颗粒尺寸在40~70 nm且随着功率增大,薄膜颗粒的尺寸变大,薄膜厚度增加。室温磁滞回线的测量结果表明一定范围内随着功率增大,样品的矫顽力H_c总体呈上升趋势,饱和磁化强度M_s的变化规律并不明显,剩余磁化强度M和矩形比Mr/Ms呈缓慢下降的趋势。磁畴的观察结果表明样品的磁畴为迷宫畴结构,且随着功率增大,磁畴的尺寸增大。

关 键 词:Fe-Ga薄膜;磁控溅射;薄膜结构;磁性能;磁畴
收稿时间:2014-11-02
修稿时间:2014-12-04

The Micro-structure and Magnetic Properties of Fe-Ga Thin Films
wangtianle,fengshangshen,liyanping,lizhigang,shaoxianyi and caipeiyang. The Micro-structure and Magnetic Properties of Fe-Ga Thin Films[J]. Rare Metal Materials and Engineering, 2017, 46(2): 406-410
Authors:wangtianle  fengshangshen  liyanping  lizhigang  shaoxianyi  caipeiyang
Abstract:
Keywords:Fe-Ga films   magnetron sputtering   thin film structure   magnetic properties   magnetic domain
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