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Micro-Raman光谱鉴定碳化硅单晶的多型结构
引用本文:王丽,胡小波,董捷,李娟,姜守振,李现祥,徐现刚,王继扬,蒋民华.Micro-Raman光谱鉴定碳化硅单晶的多型结构[J].功能材料,2004,35(Z1):3400-3404.
作者姓名:王丽  胡小波  董捷  李娟  姜守振  李现祥  徐现刚  王继扬  蒋民华
作者单位:山东大学,晶体材料国家重点实验室,山东,济南,250100
基金项目:本项目得到国家863高技术计划(2001AA311080);国家自然科学基金(60025409)的资助
摘    要:利用激光拉曼光谱仪测量了SiC单晶中不同多型的显微Raman光谱.在Raman光谱中,最大强度的FTA模和FTO模应出现在其简约波矢x等于该多型的六角度h处,据此对4H-SiC单晶中的多型进行了鉴定.同时采用高分辨X射线衍射测量了该晶片不同区域的摇摆曲线,将不同多型体的计算衍射角与实验值加以比较,对SiC晶片中的多型进行了标注,所得结论与激光Raman光谱测定结果相一致,说明Raman光谱是一种简单、快速地鉴定多型结构的强有力的工具.实验结果表明,在升华法生长4H-SiC单晶过程中,容易出现寄生6H、15R多型同4H多型的竞争生长,简单分析了寄生多型产生的原因.

关 键 词:显微激光Raman光谱  X射线摇摆曲线  SiC单晶  多型鉴定
文章编号:1001-9731(2004)增刊-3400-05
修稿时间:2004年4月30日

Polytypes identification of SiC crystal by micro-raman spectroscopy
WANG Li,HU Xiao-bo,DONG Jie,LI Juan,JIANG Shou-zhen,LI Xian-xiang,XU Xian-gang,WANG Ji-yang,JIANG Min-hua.Polytypes identification of SiC crystal by micro-raman spectroscopy[J].Journal of Functional Materials,2004,35(Z1):3400-3404.
Authors:WANG Li  HU Xiao-bo  DONG Jie  LI Juan  JIANG Shou-zhen  LI Xian-xiang  XU Xian-gang  WANG Ji-yang  JIANG Min-hua
Abstract:
Keywords:
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