| 低电压缴反射镜型微机械光开关的设计与制作 |
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| 引用本文： | 董玮,阮圣平,张歆东,刘彩霞,贾翠萍,潘建旋,张龙,孙东明,纪平,陈维友. 低电压缴反射镜型微机械光开关的设计与制作[J]. 高技术通讯, 2003, 13(7): 46-49 |
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| 作者姓名： | 董玮 阮圣平 张歆东 刘彩霞 贾翠萍 潘建旋 张龙 孙东明 纪平 陈维友 |
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| 作者单位： | 吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室,长春,130023;吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室,长春,130023;吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室,长春,130023;吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室,长春,130023;吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室,长春,130023;吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室,长春,130023;吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室,长春,130023;吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室,长春,130023;吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室,长春,130023;吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室,长春,130023 |
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| 基金项目： | 863计划 ( 2 0 0 2AA3 12 0 2 3 )，国家自然科学基金 ( 6993 70 10 )，吉林省科学计划发展 ( 2 0 0 10 3 19)资助项目 |
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| 摘 要： | 利用 (1 0 0 )硅片和偏 2 5°的 (1 1 1 )硅片制作了静电驱动扭臂结构微反射镜型 2× 2光开关。微反射镜、自对准V型槽和扭臂结构是在 (1 0 0 )硅片上制作的 ,反射镜与光纤槽之间靠晶向自对准 ,反射镜与光轴垂直度较好。在偏 2 5°的 (1 1 1 )硅片上制作倾斜下电极结构 ,实验测得的 pull in电压为 1 3 2V ,几乎比平面下电极的 pull in电压降低一半。采用准直光纤耦合 ,开关的插入损耗小于 1 4dB ,串话小于 - 5 0dB。
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| 关 键 词： | 光开关 微反射镜 静电驱动 倾斜下电极 |
Design and Fabrication of Reflective Micromirror Micromechanical Optical Switches Based on the Low Applied Voltage |
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| Dong Wei,Ruan Shengping,Zhang Xindong,Liu Caixia,Jia Cuiping,Pan Jianxuan,Zhang Long,Sun Dongming,Ji Ping,Chen Weiyou. Design and Fabrication of Reflective Micromirror Micromechanical Optical Switches Based on the Low Applied Voltage[J]. High Technology Letters, 2003, 13(7): 46-49 |
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| Authors: | Dong Wei Ruan Shengping Zhang Xindong Liu Caixia Jia Cuiping Pan Jianxuan Zhang Long Sun Dongming Ji Ping Chen Weiyou |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Optical switch Reflective micromirror Electrostatic actuator Slanted under electrode |
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