| 溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜光电导紫外光敏器件 |
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| 引用本文： | 高荣顺,傅刚,陈环.溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜光电导紫外光敏器件[J].压电与声光,2009,31(2). |
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| 作者姓名： | 高荣顺 傅刚 陈环 |
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| 作者单位： | 广州大学,物理与电子工程学院,广东,广州,510006 |
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| 摘 要： | 利用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备ZnO薄膜获得了响应速度快和灵敏度高的光电导型紫外光敏器件,并改善了器件的稳定性.采用正交试验表格L1837]安排试验.分析后得到具有最佳响应时间和灵敏度的优化工艺参数为搅拌时间2.0 h,甩膜速率4 000 r/min,甩膜层数3层,退火温度500℃,退火时间2.5 h,预处理温度200℃,叉指间距0.109 mm.测得器件上升时间5 s,下降时间3 s,在0.85 mW/cm2的紫外光强下的灵敏度(光电流与暗电流之比)R/R0为26,稳定性能良好.
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| 关 键 词： | 溶胶-凝胶 正交试验 响应速度 灵敏度 |
Photoconductive UV Sensor Based on ZnO Films Prepared by Sol-Gel Method |
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| GAO Rong-shun,FU Gang,CHEN Huan.Photoconductive UV Sensor Based on ZnO Films Prepared by Sol-Gel Method[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2009,31(2). |
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| Authors: | GAO Rong-shun FU Gang CHEN Huan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnO |
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