用于集成电路检测的复合电子透镜——能量分析器-收集器系统

研制出一种将物镜、电子能量分析器与二次电子收集器复合在一起的电子光学系统,该系统能用于集成电路的电子束检测,定量地测定微电路的电位分布。利用侧极靴磁透镜作物镜,该透镜轴上最大磁场在透镜体外,带有吸引栅的拒斥场分析器处在透镜体内,样品处有很强的透镜磁场。通过计算机优化设计,样品发出的二次电子在复合电磁场作用下大体正交地进入拒斥场分析器,确保了很高的电位分辨率。实验研究结果证实了计算机CAD设计,S曲线与理论预期的很接近。本文还提出了一种理论模型,用于分析了局部场效应,尤其是局部位垒对S曲线的影响。