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| 可改善光谱范围的红外探测器列阵 | |
| 引用本文： | 高.可改善光谱范围的红外探测器列阵[J].红外,2005(4):45-45. |
| 作者姓名： | 高 |
| 摘 要： | 本发明提供一种可扩大光谱范围的红外探测器．该探测器有两个衬底，第一个衬底由磷化铟制成，它上面有一层砷镓铟膜层．第二个衬底由硅制成，它有一个读出集成电路，该读出集成电路与上述第一层膜层在电学上是耦联的．在砷镓铟材料形成之后，用机械技术或化学腐蚀工艺将第一个衬底大大减薄，便可以使该红外探测器的光谱范围超过常规红外探测器的光谱范围． |
| 关 键 词： | 光谱范围 红外探测器列阵 读出集成电路 化学腐蚀工艺 机械技术 砷镓铟 衬底 磷化铟 制成 膜层 减薄 硅 |
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