二元光学元件衍射效率的分析与计算

衍射效率对于二元光学元件是一个非常重要的概念，也是一个重要的器件性能指标。从理想的锯齿形相位轮廓入手，利用标量衍射理论，分析并导出锯齿形一维位相当栅的衍射效率的计算公式。进而讨论在二元光学技术中，以台阶状的轮廓逼近锯齿形位轮廓的机制，构造台阶状光栅的相位轮廓函，从而导出其透过函数和角谱，得出二元光学元件衍射效率的理论公式，并对不同台阶数的二元光学元件的衍射效率进行了计算。