摘 要: | 具有光学功能的薄膜 日本庆应义塾大学的研究人员现已开发出一种具有阻挡紫外光功能的光学薄膜。该薄膜是将有机化合物和陶瓷薄膜以几纳米厚的精度层叠的多层膜。该薄膜具有低成本及多功能的特点。(No .1 0 )不需掩模的曝光装置 美国半导体公司最近推出一种不使用照相掩模也能形成电路图形的曝光装置。该装置的特点是利用带微透镜的显示器件复制电路 ,采用制作球状半导体的曝光技术可以制造 1 μm线宽的电路。印刷线路板和LCD、半导体的电路形成以往均采用以下方法实现 :即对刻有电路的光掩模照射光 ,将电路复制到基板上。然而一块…
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