| 虚拟MEMS加工工艺建模、实现与系统验证 |
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| 引用本文： | 赵新,任亮,李亚威,卢桂章. 虚拟MEMS加工工艺建模、实现与系统验证[J]. 高技术通讯, 2005, 15(1): 27-31 |
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| 作者姓名： | 赵新 任亮 李亚威 卢桂章 |
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| 作者单位： | 南开大学机器人与信息自动化研究所,天津,300071;南开大学机器人与信息自动化研究所,天津,300071;南开大学机器人与信息自动化研究所,天津,300071;南开大学机器人与信息自动化研究所,天津,300071 |
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| 基金项目： | 863计划 ( 2 0 0 2AA42 2 2 0 0，40 3 0 )，973计划 (G19990 3 3 10 9)，国家自然科学基金 ( 69985 0 0 6，60 173 0 61)，教育部高等学校骨干教师资助计划，天津市自然科学基金共同资助项目。 |
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| 摘 要： | 利用虚拟现实技术对MEMS加工工艺进行仿真，并将其引入设计环节，最终可以解决MEMS生产中设计与加工脱节的问题。MEMS加工工艺的核心是工艺模型。首先，在深入分析单步MEMS加工工艺的基础上给出了规则描述的工艺模型，其次，利用专家系统技术实现了系统。进一步用一种全新的器件微流量泵的工艺设计和虚拟加工过程验证了系统的可扩充性。
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| 关 键 词： | 微机电系统 工艺模型 专家系统 虚拟现实 |
Virtual Fabrication Process of MEMS: Modeling, Implement and System Verification |
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| Zhao Xin,REN Liang,Li Yawei,Lu Guizhang. Virtual Fabrication Process of MEMS: Modeling, Implement and System Verification[J]. High Technology Letters, 2005, 15(1): 27-31 |
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| Authors: | Zhao Xin REN Liang Li Yawei Lu Guizhang |
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| Abstract: | Virtual reality is utilized in this paper to simulate MEMS process, and then the simulation process is introduced into MEMS design stage, which provides good subsidiary method to bridge the gap between design and manufacturing. The kernel problem in virtual MEMS fabrication process is process model. Firstly, this article analyzed each single process and put forward process model based on rules. Secondly, the system of Virtual MEMS Fabrication Process based on expert system technology was implemented. Furthermore, the process of design and virtual fabrication of a new MEMS device, micropump, verified the system's expansibility. |
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| Keywords: | MEMS process model expert system(ES) virtual reality(VR) |
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