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| 激光数字波面干涉仪的光学面形绝对检测 | |
| 引用本文： | 朱郁葱,杨国光,董太和.激光数字波面干涉仪的光学面形绝对检测[J].应用激光,1987(6). |
| 作者姓名： | 朱郁葱 杨国光 董太和 |
| 作者单位： | 浙江大学光学工程系，浙江大学光学工程系，浙江大学光学工程系 |
| 摘 要： | 当光学干涉技术应用于光学表面测量时,利用外差干涉、锁相及条纹扫描干涉,已可以获得相当高的测量精度。例如我们于1985年研制成的激光数字波面干涉仪就是其中一种,这种实时数字干涉仪采用同步相位调制技术,通过对多幅干涉图的采样平均,可将本机内外的随机扰动降至最小,从而使测量的重复精度 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |