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| 用于特大规模集成器件的浅槽隔离 | |
| 摘 要： | 用于特大规模集成器件的浅槽隔离＝Ｓｈａｌｌｏｗｔｒｅｎｃｈｉｓｏｌａｔｉｏｎｆｏｒｕｌｔｒａ－ｌａｒｇｅ－ｓｃａｌｅｉｎｔｅ－ｇｒａｔｅｄｄｅｖｉｃｅｓ［刊，英］／Ｂｌｕｍｅｎｓｔｏｃｋ，Ｋ…∥Ｊ．Ｖａｃ．Ｓｃｉ．，Ｔｅｃｈｎｏｌ．Ｂ，Ｍｉｃｒｏｅｌ... |
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