超声波电动机

最近日本新生工业公司研制出一种新型超声波电动机,它是利用压电元件产生的超声波振动使电机转动,可用于电子显微镜和电子束曝光装置中圆片的定位,因电动机内部无线圈,所以不会产生干扰电子束的磁场,此外不需使用润滑油,对真空的污染少。