Nd:YAG晶体高精度切割加工试验研究

利用环形电镀金刚石线切割机对Nd:YAG晶体进行了切割实验研究,分析了水平和旋转切割模式对晶体切割质量的影响,得出旋转切割更适合Nd:YAG的圆晶片加工,不仅可以提高晶体的加工表面质量,还大幅度减小了切割时间。采用正交法对旋转切割进行试验设计,研究不同切割参数对Nd:YAG晶体切割质量的影响规律。通过对试验结果进行分析,得出环形金刚石线切割Nd:YAG晶体的最优工艺参数,切割后的晶片经过工艺处理后可直接进行后续的抛光加工。