多功能热丝化学气相沉积金刚石涂层制备设备的研制期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

多功能热丝化学气相沉积金刚石涂层制备设备的研制

摘要：	根据国内热丝化学气相沉积金刚石制备设备现状现状,结合HFCVD法制备金刚石薄膜原理,研制多功能热丝化学气相沉积金刚石涂层制备设备。
本文献已被 CNKI 等数据库收录！