反应等离子沉积装置的性能研究

反应等离子沉积方法具有离子轰击能量低、薄膜沉积时衬底温度低的特点,可应用于太阳电池、LED(OLED)等的高质量透明导电材料的制备,有利于获得高转换效率的太阳电池。对反应等离子沉积系统进行了研究,并在FLD08型RPD设备上,制备了掺钨透明氧化物IWO薄膜材料,获得了较好的结果。