| 基于功能特性的MEMS表面结构三维测量评定探索 |
| |
| 引用本文： | 孙保启,杨东拜,丁红宇. 基于功能特性的MEMS表面结构三维测量评定探索[J]. 机电产品开发与创新, 2007, 20(5): 145-147 |
| |
| 作者姓名： | 孙保启 杨东拜 丁红宇 |
| |
| 作者单位： | 机械科学研究总院,北京,100044 |
| |
| 摘 要： | MEMS表面结构质量对其功能特性具有重要的影响,本文专门探索研究了MEMS表面结构三维测量评定,主要分析了其表面结构质量对其功能特性影响,并举例进行了分析;提出了基于功能特性的MEMS表面结构三维测量评定综合参数、测量评定流程方案.
|
| 关 键 词： | 功能特性 MEMS(微机电系统) 表面结构 三维测量评定 功能特性 MEMS 表面结构 三维 测量评定 Surface Texture Measurement and Assessment 流程方案 参数 综合 特性影响 分析 探索研究 专门 结构质量 |
| 文章编号： | 1002-6673（2007）05-145-03 |
| 收稿时间： | 2007-08-15 |
| 修稿时间： | 2007-08-15 |
The Study on the 3D Measurement and Assessment of MEMS Surface Texture |
| |
| SUN Bao-Qi,YANG Dong-Bai,DING Hong-Yu. The Study on the 3D Measurement and Assessment of MEMS Surface Texture[J]. Development & Innovation of Machinery & Electrical Products, 2007, 20(5): 145-147 |
| |
| Authors: | SUN Bao-Qi YANG Dong-Bai DING Hong-Yu |
| |
| Abstract: | The quality of MEMS surface texture has great influence on its performances. This paper studies the 3D measurement and assessment of the MEMS surface texture specially. It mainly analyzes the influence of 3D MEMS surface texture on its performance, and presents its parameters and process basing on MEMS performances. |
| |
| Keywords: | functional characteristic MEMS surface texture 3D measurement and assessment |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
