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| 矩形截面槽牵引分子泵分子流态下抽气特性的研究 | |
| 引用本文： | 王晓冬,巴德纯.矩形截面槽牵引分子泵分子流态下抽气特性的研究[J].真空,1999(2):9-11. |
| 作者姓名： | 王晓冬 巴德纯 |
| 作者单位： | 东北大学 |
| 摘 要： | 本文对常见的矩形槽牵引泵在分子流态下的通道抽气机理进行了分析，建立了计算牵引泵抽气特性的数学模型，给出了等槽宽变槽深矩形牵引通道抽气特性的计算方法，对改进分子泵的设计具有实际意义。 |
| 关 键 词： | 分子泵 牵引槽 抽气特性 矩形槽 分子流态 |
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