| 用于视觉假体的柔性生物微电极阵列的设计和制作 |
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| 引用本文： | 王亚军,杨春生,刘景全,沈修成,郭忠元.用于视觉假体的柔性生物微电极阵列的设计和制作[J].传感技术学报,2009,22(1). |
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| 作者姓名： | 王亚军 杨春生 刘景全 沈修成 郭忠元 |
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| 作者单位： | 上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200240 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，上海市科委纳米专项基金 |
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| 摘 要： | 提出了一种用于视网膜假体的基于Parylene的柔性微电极阵列的设计和制作.微电极阵列为5×5,通过光刻胶热熔回流技术形成的电极点为半球形凸起,底部直径为60 μm,高度大约为24 μm.整个电极具有很好的柔韧性,能够更好的适应视网膜表面轮廓,提高刺激效果.同时,电极具有很好的透明性,便于手术时电极的植入和手术后对生物组织的观察.
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| 关 键 词： | 视网膜假体 光刻胶热熔 微电极阵列 |
Design and Fabrication of Parylene-based Flexible Microelectrode Arrays for Retinal Prostheses |
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| Wang Yajun,Yang Chunsheng,Liu Jingquan,Shen Xiucheng,Guo Zhongyuan.Design and Fabrication of Parylene-based Flexible Microelectrode Arrays for Retinal Prostheses[J].Journal of Transduction Technology,2009,22(1). |
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| Authors: | Wang Yajun Yang Chunsheng Liu Jingquan Shen Xiucheng Guo Zhongyuan |
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| Affiliation: | National Key Laboratory of Nano/Micro Fabrication Technology, Key Laboratory for Thin Film and Microfabrication of Minstry of Education, Institute of Mico and Nano science and Technology, Shanghai Jiaotong University, Shanghai 200240 China |
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| Keywords: | Parylene MEMS |
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