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| MEMS微波功率传感器的系统级建模 | |
| 作者姓名： | 孙国琛 张志强 刘佳琦 郑从兵 |
| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏 南京210096 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金项目（面上项目,重点项目,重大项目） |
| 摘 要： | 提出了一种基于力-电和热-电原理的MEMS微波功率传感器,并依次对基于力-电转换原理的电容式MEMS微波功率传感器和基于热-电转换原理的热电式MEMS微波功率传感器进行建模.其一是通过采用挠度方程对力-电转换原理部分的固支梁建立力-电模型;二是通过采用热传导方程对热-电转换原理部分的温度分布建立二维热-电模型.最后将微... |
| 关 键 词： | MEMS 微波功率传感器 热-电 力-电 系统级建模 |
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