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| 提高微米金刚石聚晶薄膜的场发射点密度研究 | |
| 作者姓名： | 高金海 崔颖琦 张洁 李成刚 张兵临 |
| 作者单位： | 郑州师范学院物理与电子工程学院,河南 郑州450044;郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,河南 郑州450052;郑州师范学院物理与电子工程学院,河南 郑州450044;郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,河南 郑州450052 |
| 基金项目： | 教育部科学技术研究项目重点项目;国家自然科学基金;河南省高等学校重点科研项目;河南省科技厅科技攻关项目;河南省科技计划项目 |
| 摘 要： | 利用微波等离子化学气相沉积的方法,制备出微米金刚石聚晶颗粒薄膜,通过扫描电镜、拉曼光谱、X射线实验,分析了薄膜的形貌与结构,用场发射二级结构研究薄膜的场发射性能.研究了微米金刚石聚晶薄膜的产生的机理,调整制备过程中的参数来增加聚晶颗粒的密度,提高场发射点的密度,为制备大面积、均匀的场发射阴极打下基础. |
| 关 键 词： | 微波等离子体化学气相沉积 微米金刚石聚晶薄膜 场发射 |
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