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| 定容式气体微流量标准装置的不确定度分析 | |
| 引用本文： | 田东旭,温昕晖. 定容式气体微流量标准装置的不确定度分析[J]. 真空与低温, 2000, 6(2): 118-122 |
| 作者姓名： | 田东旭 温昕晖 |
| 作者单位： | 兰州物理研究所!甘肃兰州730000 |
| 摘 要： | 定容式气体微流量标准装置采用定容法工作原理 ,用于校准热容式质量流量计 ,测量范围为1×10 -3～10Pa·m3·s -1 ,不确定度(1σ)小于1.20 %。主要分析了标准装置的不确定度 |
| 关 键 词： | 真空 测量标准 流量 不确定度 |
UNCERTAINTY ANALYSIS ON CONSTANT VOLUME FLOW STANDARD |
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| Abstract: | |
| Keywords: | connection admission control quality of service statistical guarantees. |
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