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| 多弧离子镀沉积温度对TiN涂层性能的影响 | |
| 引用本文： | 孙伟,宫秀敏,叶卫平,张覃轶,朱小清. 多弧离子镀沉积温度对TiN涂层性能的影响[J]. 电加工与模具, 2000, 0(5): 26-28 |
| 作者姓名： | 孙伟 宫秀敏 叶卫平 张覃轶 朱小清 |
| 作者单位： | 1. 武汉汽车工业大学 2. 东风汽车公司 |
| 摘 要： | 在多弧离子镀设备上沉积了ＴｉＮ涂层，研究了不同沉积温度下ＴｉＮ涂层的表面硬度及与基体的结合力。实验结果表明，在保证基体材料不过热的前提下提高沉积温度，有利于提高ＴｉＮ涂层的性能。 |
| 关 键 词： | TiN涂层 沉积温度 结合力 多弧离子镀 |
The effect of deposition temperature of multi-arc on properties of TiN coatings |
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