| 扫描探针制备技术的研究现状及发展 |
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| 引用本文： | 傅惠南,王宏霞,区仲荣.扫描探针制备技术的研究现状及发展[J].微纳电子技术,2005,42(5):237-243. |
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| 作者姓名： | 傅惠南 王宏霞 区仲荣 |
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| 作者单位： | 广东工业大学机电学院,广州,510090 |
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| 基金项目： | 广州市科技计划项目(2002Z2-D2041)，广东省科技计划项目(2003B12002)，广东省自然科学基金(20010033) |
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| 摘 要： | 探讨了近几年来探针制备技术的发展和趋势,分别就探针检测性能的改进、探针结构、探针检测功能拓展及多通道信息采集组合探针等几方面,对相关制备技术的方法、特点以及相应检测条件、适用环境展开讨论,这些方面反映探针制备技术正朝着尖锐化、多样化、功能化和组合方向发展。
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| 关 键 词： | 扫描探针显微镜 微悬臂 针尖 |
| 文章编号： | 1671-4776(2005)05-0237-07 |
| 修稿时间： | 2004年11月17 |
Present Status and Development of SPM Probe |
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| FU Hui-nan,WANG Hong-xia,OU Zhong-rong.Present Status and Development of SPM Probe[J].Micronanoelectronic Technology,2005,42(5):237-243. |
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| Authors: | FU Hui-nan WANG Hong-xia OU Zhong-rong |
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| Abstract: | A review is given on the recent development of SPM probe from the points of measure performance,probe structure,the development of function and compound probe. The process,techniques characteristic,measure condition of every fabrication method are discussed. The present research shows that the tendency of SPM probe is sharpness,diversification and multifunction. |
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| Keywords: | scanning probe microscopy cantilever tip |
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