| 衬底对溶胶-凝胶法制备ZnO压电薄膜的影响 |
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| 引用本文： | 王敏锐,王兢,陈文,崔岩. 衬底对溶胶-凝胶法制备ZnO压电薄膜的影响[J]. 中国机械工程, 2005, 16(Z1): 321-323 |
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| 作者姓名： | 王敏锐 王兢 陈文 崔岩 |
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| 作者单位： | 大连理工大学,大连,116023 |
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| 基金项目： | 国家自然科学资金资助重大项目(90207003) |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶法分别在晶态衬底Si/SiO2/Ti/Pt和无定形态衬底Si/SiO2上制备了ZnO压电薄膜.以X射线衍射仪和原子力显微镜研究了薄膜的002择优取向度和表面形貌.结果表明,采用溶胶-凝胶法在Si/SiO2/Ti/Pt和Si/SiO2衬底上都能制备出具有较好择优取向,表面粗糙度低的ZnO薄膜,而且由于Pt和ZnO的晶格失配度较小,在Si/SiO2/Ti/Pt衬底上生长的ZnO薄膜形成002择优取向的退火温度低于在Si/SiO2衬底上生长的薄膜形成002择优取向的退火温度.
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| 关 键 词： | 溶胶-凝胶法 002择优取向 晶态 非晶态 |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)S1-0321-03 |
| 修稿时间： | 2004-08-30 |
Effects of Substrate Quality on Fabrication of ZnO Piezoelectric Thin Film by Sol-gel Method |
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| Wang Minrui,Wang Jing,Chen Wen,Chui Yan. Effects of Substrate Quality on Fabrication of ZnO Piezoelectric Thin Film by Sol-gel Method[J]. China Mechanical Engineering, 2005, 16(Z1): 321-323 |
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| Authors: | Wang Minrui Wang Jing Chen Wen Chui Yan |
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