真空蒸镀热反射玻璃电清洗工艺研究

分析了蒸镀反射膜时电清洗玻璃的必要性，提出了在真空室体中设置栅极并加以负高压，采用氨气产生等离子场并用其轰击清洗玻璃表面的方法。实验确定了蒸镀热反射膜（ｎｉ／ｃｒ）时的最佳轰击清洗时间。