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| 电磁控制的亚微米微位移机构 | |
| 作者姓名： | 李庆祥 徐毓娴 薛实福 |
| 作者单位： | 清华大学(李庆祥，徐毓娴)，清华大学(薛实福) |
| 摘 要： | <正>亚微米微位移机构是现代精密机械与精密仪器的共同基础。近年来随着科学技术的发展,尤其是微电子技术的飞跃进步,将精密机械与精密仪器的精度提高了一个数量级,即由微米级的精度提高到亚微米级,因此作为精度补偿及微调机构的亚微米微位移技术,得到了迅速的发展和广泛地应用。目前亚微米微位移技术日趋成熟,实现亚微米微位移的方法很多,本文着重讨论电磁驱动原理,位移机构设计中的问题以及利用该原理设计研制的亚微米微位移机构的实验结果。 电磁驱动原理 |
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