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行进式曝光机的研制

作者姓名：	王柱刘宗文

作者单位：	四川压电与声光技术研究所(王柱)，四川压电与声光技术研究所(刘宗文)

摘要：	本文主要介绍了行进式曝光机的工作原理、结构设计考虑及其在长基片SAW器件研制中的应用.
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