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| NIKON NSR步进重复光刻机对准原理及典型故障修复 | |
| 引用本文： | 申强,刘磊,曹鑫,李远林.NIKON NSR步进重复光刻机对准原理及典型故障修复[J].电子工业专用设备,2022(1):30-35. |
| 作者姓名： | 申强 刘磊 曹鑫 李远林 |
| 作者单位： | 1.中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
| 摘 要： | 论述了NIKON NSR步进重复光刻机对准系统工作原理，包括掩模版对准和圆片对准；列出了对准过程中遇到的常见故障，并提出了对应的解决方法，对设备运行过程中出现的对准方面的故障修复有一定的指导作用。 |
| 关 键 词： | 对准系统 掩模版对准 圆片对准 故障修复 |
Theory of Alignment System of NIKON NSR Step-repeat Lithography and Typical Faults Repair |
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| Keywords: | |