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| 展望22nm技术节点 | |
| 作者姓名： | Laura Peters |
| 作者单位： | Editor-in-Chief Semiconductor International |
| 摘 要： | 为了实现22nm技术节点,工程师必须在许多方面做出重大决定,例如：是否要从平面化的CMOS器件结构转变为多栅结构;是否要使用不同的沟道材料;以及是否要用铜插入来代替钨插入。 |
| 关 键 词： | 技术节点 展望 CMOS器件 结构转变 工程师 栅结构 平面化 |
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