| 多孔硅湿敏元件的频率特性 |
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| 引用本文： | 杨光,何金田,李新建,梁二军.多孔硅湿敏元件的频率特性[J].传感器与微系统,2005,24(4):18-20. |
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| 作者姓名： | 杨光 何金田 李新建 梁二军 |
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| 作者单位： | 1. 郑州大学,物理工程学院,河南,郑州,450052
2. 郑州大学,教育部材料物理重点实验室,河南,郑州,450052 |
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| 基金项目： | 河南省高校杰出科研创新人才工程项目 |
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| 摘 要： | 用多孔硅作为湿敏元件, 室温下在20Hz~100kHz频率范围,湿度从11%RH升至95%RH进行实验。结果表明:不同测试频率对多孔硅湿敏元件有较大影响,低频范围测量灵敏度高;高频范围效果不佳。讨论了频率影响的机理,其理论分析和实验结果一致。
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| 关 键 词： | 多孔硅 湿度 频率 |
| 文章编号： | 1000-9787(2005)04-0018-03 |
| 修稿时间： | 2004年10月29日 |
Frequency properties of porous silicon humidity sensing material |
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| YANG Guang,HE Jin-tian,LI Xin-jian,LIANG Er-jun.Frequency properties of porous silicon humidity sensing material[J].Transducer and Microsystem Technology,2005,24(4):18-20. |
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| Authors: | YANG Guang HE Jin-tian LI Xin-jian LIANG Er-jun |
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| Abstract: | In the room temperature,the experiment is done at 11%~95% relative humidity under 20Hz~100kHz signal frequency using porous silicon as a humidity sensing material.It is observed that different signal frequency has an effect on the porous silicon sensing element and the sensitivity is good in the lower frequency and the sensitivity is bad in the higher frequency,then the mechanism of frequency affect is analysed.The theory is consistent with the results. |
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| Keywords: | PS(porous silicon) humidity frequency |
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