| 非接触式电容压力传感器敏感元件的设计及性能分析 |
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| 引用本文： | 尚永红,李艳秋,于红云,孙红光,苏波.非接触式电容压力传感器敏感元件的设计及性能分析[J].传感技术学报,2008,21(2):276-279. |
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| 作者姓名： | 尚永红 李艳秋 于红云 孙红光 苏波 |
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| 作者单位： | 中国科学院电工研究所,北京,100080;中国科学院电工研究所,北京100080;北京理工大学,北京100081;中国科学院电工研究所,北京100080;中国科学院研究生院,北京100049 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划)，教育部长江学者和创新研究团队计划项目资助(PCSIRT) |
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| 摘 要： | 将中心岛膜结构的压力敏感膜用在非接触式电容式压力传感器中,解决了平膜结构带来的各点挠度不同、非线性和需要后续补偿电路的问题.通过对材料为多晶硅的中心岛膜进行结构优化设计和挠度、应力等力学性能分析.计算了在不同外加压力条件下压力敏感膜的电容数值、灵敏度和线性度.根据优化设计,外加压力在0.2～1.4× lO.Pa间变化时,电容值在0.0251～0.0281 pF间变化;通过分析两种结构敏感膜在Xy面内同一位置与中心挠度差的变化率,中心岛膜结构的变化率为49.4%低于平膜结构1.7%.因而中心岛膜结构比平膜结构有更好的灵敏度和线性.
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| 关 键 词： | 非接触式电容压力传感器 敏感元件 MEMS |
| 文章编号： | 1004-1699(2008)02-0276-04 |
| 修稿时间： | 2007年9月30日 |
Design and Simulation of Sensitivity Diaphragm of Untouched-mode Capacitive Pressure Sensor |
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| Shang Yonghong,Li Yanqiu,Yu Hongyun,Sun Hongguang,Su Bo.Design and Simulation of Sensitivity Diaphragm of Untouched-mode Capacitive Pressure Sensor[J].Journal of Transduction Technology,2008,21(2):276-279. |
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| Authors: | Shang Yonghong Li Yanqiu Yu Hongyun Sun Hongguang Su Bo |
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| Affiliation: | 1. I nst itute of Elect rical Engineering of Chinese Academy of Science ,2. Bei j ing I nstitute of Technology ,3. Graduate Uni versit y of Chinese Academy of Sciences |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS |
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