|
|||||
|
|
| 极间距和工作电压对阳极屏蔽电沉积铜定域性的影响 | |
| 引用本文： | 罗龚,陈茂琳,袁原,蔡佳琪,林依璇,李书弘,李宁.极间距和工作电压对阳极屏蔽电沉积铜定域性的影响[J].电镀与涂饰,2023(1):35-41. |
| 作者姓名： | 罗龚 陈茂琳 袁原 蔡佳琪 林依璇 李书弘 李宁 |
| 作者单位： | 1. 广东石油化工学院机电工程学院;2. 哈尔滨工业大学化工与化学学院;3. 广东石油化工学院化学学院 |
| 基金项目： | 广东省特色创新自然科学类项目（2021KTSCX079）；;广东省茂名市科技计划项目（2021019）； |
| 摘 要： | 设计并制作了阳极屏蔽电沉积系统，采用5,5-二甲基乙内酰脲(DMH)体系镀铜液，在温度(23.5±1)℃下电沉积30 s，研究了极间距和工作电压的变化对定域电沉积效果的影响。结果表明，阳极屏蔽定域沉积区域随极间距和工作电压的增大而扩大，且极间距变化对沉积图案定域性的影响大于工作电压变化带来的影响。 |
| 关 键 词： | 铜 定域性电沉积 阳极屏蔽 极间距 工作电压 5 5-二甲基乙内酰脲 |