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低轮廓电解铜箔制备工艺参数的优化
作者姓名:凌羽  张少强  卢伟伟  徐鹏  朱倩倩  胡浩  宋克兴  杨祥魁  朱义刚
作者单位:1. 河南科技大学化学化工学院;2. 河南省有色金属材料科学与加工技术重点实验室;3. 河南科技大学材料科学与工程学院;4. 山东金宝电子股份有限公司
基金项目:国家重点研发计划项目(2021YFB3400800);
摘    要:采用直流电沉积法制备了低轮廓电解铜箔,在仅以明胶作为添加剂的情况下研究了钛基体(阴极)表面粗糙度、电流密度、硫酸质量浓度、铜离子质量浓度、电解液温度等工艺参数对铜箔表面形貌及粗糙度的影响。确定最佳的工艺条件为:钛基体表面粗糙度(Rz)1~2μm,电流密度4.0 A/dm2,硫酸100 g/L,铜离子60 g/L,电解液温度37°C。所得铜箔表面形貌良好,粗糙度(Rz)小于1.8μm。

关 键 词:电解铜箔  直流电沉积  钛基体  电解液成分  温度  表面形貌  粗糙度
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