| 活化法测量溅射Au原子的各向异性 |
| |
| 引用本文： | 陶振兰,郑里平,曹德新,张阿虎. 活化法测量溅射Au原子的各向异性[J]. 核技术, 1987, 0(5) |
| |
| 作者姓名： | 陶振兰 郑里平 曹德新 张阿虎 |
| |
| 作者单位： | 中国科学院上海原子核研究所(陶振兰，郑里平，曹德新)，上海半导体器件研究所(张阿虎) |
| |
| 摘 要： | 溅射的空间分布和溅射率的研究不仅是检验各种溅射机制的重要手段而且与许多溅射的应用问题紧密相联。如利用溅射刻绘集成电路所需的复杂图样、单晶表面加工和薄靶制备技术等。此外一些分析技术也有赖于溅射的角分布和能量分布知识。 有关溅射理论的基础是由Sigmund在1969年提出的线性级联碰撞理论。根据他的理论引致的空间溅射角分布是余弦形状的对称分布,但一些实验表明这一理论与实验有明显的偏
|
| 关 键 词： | 溅射 快中子活化分析 各向异性 |
The measurement of anisotropic factor for sputtered Au atoms by means of fast neutron activation |
| |
| Tao Zhenlan Zheng Liping Cao Dexin Zhang Ahu. The measurement of anisotropic factor for sputtered Au atoms by means of fast neutron activation[J]. Nuclear Techniques, 1987, 0(5) |
| |
| Authors: | Tao Zhenlan Zheng Liping Cao Dexin Zhang Ahu |
| |
| Affiliation: | Shanghai Institute of Nuclear Research. Academia Sinica |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | sputtering fast neutron activation analysis anisotropy |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
