| Au/Si体系离子束混合层的透射电镜研究 |
| |
| 引用本文： | 黄佩璇,李玉璞,孙晓冬.Au/Si体系离子束混合层的透射电镜研究[J].核技术,1988(3). |
| |
| 作者姓名： | 黄佩璇 李玉璞 孙晓冬 |
| |
| 作者单位： | 北京钢铁学院
(黄佩璇，李玉璞)，北京钢铁学院(孙晓冬) |
| |
| 摘 要： | 用剖面制样技术对在150K、293K、373K温度下Ar离子束混合的Au/Si界面层进行了透射电镜研究,获得不同深度的一些结构细节。
|
| 关 键 词： | 离子束 离子束混合 金-硅界面 电子显微镜 |
TEM investigation of ion beam mixed Au/Si bilayer |
| |
| Wang Peixuan Li Yupu Sun Xiaodong.TEM investigation of ion beam mixed Au/Si bilayer[J].Nuclear Techniques,1988(3). |
| |
| Authors: | Wang Peixuan Li Yupu Sun Xiaodong |
| |
| Affiliation: | Beijing University of Iron and Steel Technology |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | ion beam ion beam mixing Au/Si interface TEM |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
