| 应用于短脉冲激光加工的自动调焦系统 |
| |
| 引用本文： | 邬泳,傅星,周志远,刘春阳,孙凤鸣,胡小唐.应用于短脉冲激光加工的自动调焦系统[J].传感器与微系统,2010,29(5). |
| |
| 作者姓名： | 邬泳 傅星 周志远 刘春阳 孙凤鸣 胡小唐 |
| |
| 作者单位： | 天津大学,精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津300072 |
| |
| 基金项目： | 天津市重大科技攻关计划资助项目 |
| |
| 摘 要： | 针对现有的纳秒脉冲激光微加工系统,设计了基于图像处理的自动调焦系统.从焦点检测的历史背景出发,结合光学的成像原理,提出了以图像梯度为对焦评价函数的自动调焦技术.把此自动调焦系统应用于原系统中,形成了以控制单元、激光器、机械结构和光路系统为主要组成部分的纳秒脉冲激光微加工系统.通过对加工实验效果和对焦评价函数曲线的对比分析,证实了此调焦系统适用于短脉冲激光加工,从而有效地提高了系统的加工精度和效率.
|
| 关 键 词： | 自动调焦 激光加工 图像梯度 图像处理 |
Auto focusing system for short pulse laser machining |
| |
| WU Yong,FU Xing,ZHOU Zhi-yuan,LIU Chun-yang,SUN Feng-ming,HU Xiao-tang.Auto focusing system for short pulse laser machining[J].Transducer and Microsystem Technology,2010,29(5). |
| |
| Authors: | WU Yong FU Xing ZHOU Zhi-yuan LIU Chun-yang SUN Feng-ming HU Xiao-tang |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
